Linearführungswagen für extreme Industrieumgebungen

Bosch Rexroth hat sein Portfolio an Lineartechnik mit der Einführung des Führungswagens NRTVG für BSHP-Kugelschienenführungen erweitert. Der vollständig aus korrosionsbeständigem Stahl gefertigte Führungswagen der Baugröße 25 wurde für den Einsatz in Hochvakuumumgebungen, bei extremen Temperaturen und in Industrieanlagen entwickelt, die aggressiven chemischen Medien ausgesetzt sind.

Vakuumkompatibilität und Temperaturtoleranz
Der NRTVG-Führungswagen (Temperature Vacuum Graded) unterstützt einen Betriebstemperaturbereich von -30 °C bis 200 °C und eignet sich damit sowohl für die Tiefkühllogistik als auch für Hochtemperaturanwendungen wie die Glasherstellung und Gießereien. Für Hochvakuumumgebungen, die häufig in der Halbleiter- und Displayfertigung erforderlich sind, ist der Wagen für Atmosphären bis zu 10⁻⁷ mbar ausgelegt. Um virtuelle Lecks zu vermeiden und die Vakuumintegrität aufrechtzuerhalten, verfügt der Wagen über zwei Entlüftungsbohrungen auf jeder Seite, durch die beim Installationsprozess eingeschlossene Luft schnell entweichen kann.

Ganzmetallarchitektur und modulare Abdichtung
Die mittels fortschrittlicher Metallpulverspritzguss-Verfahren (MIM) hergestellte Kugelführung enthält keine Kunststoffkomponenten und erfüllt damit eine strenge Anforderung für sensible Reinraum-Produktionsprozesse. Für den Umgang mit aggressiven Medien bietet das System optionale Dichtungen aus Fluorkautschuk (FKM), die konstanten Temperaturen bis zu 150 °C standhalten und gleichzeitig beständig gegen Industrieöle und Chemikalien sind. Zusätzlich ist ein vormontierter Vorsatzabstreifer aus korrosionsbeständigem Stahl erhältlich, der die inneren Kugelumlenkungen vor grober Verschmutzung, wie etwa Metallspänen, schützt. Das modulare BSHP-Design ermöglicht den unabhängigen Austausch von Führungsschiene und Führungswagen, was den Wartungsaufwand minimiert.

Zusätzlicher Kontext: Dieser Abschnitt detailliert technische Spezifikationen, die nicht in der ursprünglichen Ankündigung enthalten waren.
In Hochvakuum- (HV) und Ultrahochvakuum-Umgebungen (UHV) – wie der Halbleiter-Fotolithografie oder der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) für OLEDs – können herkömmliche Industriekunststoffe und Schmiermittel nicht verwendet werden, da sie verdampfen (Ausgasung). Diese Ausgasung verunreinigt die Vakuumkammer und lagert mikroskopische Defekte auf Siliziumwafern oder Glassubstraten ab. Die Verwendung von Metallpulverspritzguss (MIM) für die Kugelumlenkkomponenten des NRTVG macht die bei herkömmlichen Linearführungen üblichen Endkappen und Umlenkrohre aus Kunststoffharz überflüssig. Da zudem herkömmliche Schmiermittel auf Erdölbasis im Vakuum verdampfen und ein sofortiges Festfressen von Metall auf Metall verursachen, müssen Ganzmetall-Linearführungen in diesen Umgebungen spezielle vakuumkompatible Festschmierstoffe (wie Molybdändisulfid, MoS₂) oder Perfluorpolyether-Fette (PFPE) mit niedrigem Dampfdruck verwenden, um ihre Nennlebensdauer zu erreichen.

Redaktionell bearbeitet von Lekshman Ramdas, Induportals-Redakteur – angepasst durch KI.

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