SMC: Das neues Kühl- und Temperiergerät der Serie INR-495 

Viele Prozesse der Industrieautomatisierung sind auf eine zuverlässige Kühlung angewiesen. Die Anforderungen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie sind durch die SEMI-Richtlinien hierbei besonders hoch.

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Um nicht nur diese umfassend abzudecken, sondern auch in Sachen Klima- und Umweltschutz ein zukunftssicheres Niveau zu erreichen, hat SMC die Serie INR-495 entwickelt. Das Kühl- und Temperiergerät verzichtet auf den Einsatz von Fluorierten Gasen als Kühlmittel und setzt stattdessen auf CO₂ (R744) als Kältemittel. So liegt der GWP-Wert (Global Warming Potential, also ein Maß, wie umweltschädlich ein Kühlmittel ist) bei lediglich 1. Das Gerät erfüllt damit heute schon die Umweltanforderungen, die in der EU erst ab 2032 in Kraft treten. Zudem überzeugt die Serie durch ihr schlankes und wartungsarmes Design sowie hohe Leistungskennziffern bei Kühlkapazität, Heizleistung, Temperatureinstellbereich und Temperaturstabilität.

Die Prozesse in der Elektronik- und Halbleitertindustrie sind hoch sensibel und erfordern ein hohes Maß an Sicherheit: Die hierbei eingesetzten Kühl- und Temperiergeräte müssen zuverlässig sein und besonders konstant Temperaturen halten sowie hohe Sicherheits- wie Energie- und Klimaschutzanforderungen erfüllen. Mit der Serie INR-495 hat der Automatisierungsspezialist SMC nun eine Variante ohne konventionelle Kühlmittel entwickelt, die sich besonders ideal für die Halbleiterindustrie eignet. Das dank CO2 als Kältemittel (R744) besonders umweltfreundliche Kühl- und Temperiergerät überzeugt mit einem GWP (Global Warming Potential)-Wert von nur 1 und realisiert so einen zukunftssicheren Betrieb. Die Konformität zu den SEMI^®-Richtlinien S2, S8 und F47, ihr kompaktes und zusätzlich wartungsarmes Design und die hohe Leistung gepaart mit Effizienz machen die Serie INR-495 zum zuverlässigen Begleiter für die Halbleiterindustrie.

Neues Level bei Umwelt, Gesundheit und Sicherheit
SMC hat mit der Serie INR-495 sein Portfolio an Kühl- und Temperiergeräten um eine Variante erweitert, die komplett auf fluorierte Kältemittel verzichtet. Durch die Verwendung von CO₂ (R744) wird allem voran ein GWP-Wert von nur 1 erreicht. Zum Vergleich: Die EU-Kältemittelverordnung schreibt ab 2027 einen GWP von 150 oder weniger vor – die US-Kältemittelverordnung ab 2026 700 oder weniger (im US-Bundesstaat Kalifornien schon heute 750 oder weniger). Anwender der neuen Serie von SMC sind damit auch langfristig vor einem Geräteaustausch infolge einer möglichen Verschärfung gesetzlicher Vorschriften sicher.

Das gilt ebenfalls für den asiatischen Markt, bei dem mit ähnlichen Regularien zu rechnen ist. Durch das ungiftige und nicht entzündbare Kältemittel CO₂ unterliegt die Serie INR-495 auch keinen Einschränkungen für den Lufttransport. Die Geräte können daher auch befüllt als Luftfracht geführt werden, was sowohl die Liefergeschwindigkeit als auch die gesamte Flexibilität in Sachen Logistik erhöht. Indem keine fluorierten Kältemittel verwendet werden, entfallen auch die sonst üblichen Kosten für Rückgewinnung oder Entsorgung der herkömmlichen Kältemittel (fluorierte Kältemittel). Dank Konformität zu den SEMI^®-Richtlinien S2, S8 und F47 ist das Kühl- und Temperiergerät zudem optimal für die hohen Anforderungen in der Halbleiterindustrie geeignet.

Überzeugt bei Design und Leistung
Mit Abmessungen von 307 x 849 x 1640 mm (B x T x H) nimmt die Serie INR-495 eine Grundfläche von nur rund 0,26 m2 ein – die Stellfläche ist damit etwa 21 % kleiner als bei vergleichbaren Geräten von SMC. Sie ermöglich so nicht nur die Verwendung bei engen Platzverhältnissen, sondern auch die platzsparende Anordnung mehrerer Geräte. Hierauf zahlt auch der an der Frontseite angebrachte Einfüllstutzen ein, der das Nachfüllen des Umlaufmedium erleichtert und den Wartungsaufwand verringert. Dank der Kühlkapazität von 8,5 kW, einer Heizleistung von 3 kW und einem Solltemperaturbereich von -20 bis 70 °C kann die Serie INR-495 ein breites Spektrum an Anwendungen abdecken. Hinzu kommt die Temperaturstabilität von ± 1,0 °C, die eine präzise Temperaturüberwachung für die Prozesskühlung realisiert.

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