Reinraum-Energieführung reduziert Partikel und Systemkomplexität

In hochsensiblen Industrien wie Mikroelektronik, Halbleiter- und Batteriefertigung steigen die Anforderungen an Partikelfreiheit und Prozesssicherheit kontinuierlich. Gleichzeitig führen zunehmende Automatisierung und größere Anlagen zu längeren Verfahrwegen im Materialtransport. igus adressiert diese Herausforderung mit einer Reinraumlösung bestehend aus der C6-Energiekette und dem neuen e-spin Führungssystem, ausgelegt für Verfahrwege bis zu 30 Metern.

Anforderungen an Energie- und Datenversorgung im Reinraum
In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Wafer zahlreiche Prozessschritte unter streng kontrollierten Reinraumbedingungen. Der Materialtransport erfolgt zunehmend automatisiert, etwa über Overhead Hoist Transport (OHT)-Systeme, die Wafer-Kassetten entlang von Deckenschienen bewegen.

Eine zentrale Herausforderung ist die kombinierte Versorgung dieser Systeme mit Energie und Daten bei minimaler Partikelemission. Klassische Stromschienen übertragen keine Daten und sind wartungsintensiv, während konventionelle Energieketten häufig zusätzliche Absaugsysteme zur Reduktion von Partikeln erfordern.

Rollendes Führungssystem zur Minimierung von Abrieb
Die Lösung von igus basiert auf einem neu entwickelten Führungskonzept. Das e-spin System nutzt Führungsräder aus tribologisch optimiertem Hochleistungskunststoff, die zwischen Ober- und Untertrum der Energiekette positioniert sind.

Durch dieses Design rollen die Kettenglieder aufeinander, anstatt zu gleiten. Dieser Mechanismus reduziert Reibung und minimiert die Partikelemission während des Betriebs, ohne zusätzliche Absaugtechnik.

Zertifizierte Reinraumtauglichkeit und Betriebseigenschaften
Die Kombination aus C6-Energiekette und e-spin System wurde vom Fraunhofer IPA nach ISO Reinraumklasse 1 zertifiziert. Labortests bestätigen diese Klassifizierung bei einer Betriebsgeschwindigkeit von 0,5 m/s.

Das System zeichnet sich durch hohe Verschleißfestigkeit, geringe Wartungsanforderungen und lange Lebensdauer aus. Der Einsatz von Hochleistungskunststoffen trägt zur Stabilität unter kontinuierlicher Belastung bei und reduziert den Wartungsaufwand im Vergleich zu konventionellen Lösungen.

Integration und Auslegung für automatisierte Transportsysteme
Die Energieführung ist speziell für Anwendungen wie OHT-Systeme ausgelegt, bei denen kompakte Bauweise und Zuverlässigkeit entscheidend sind. Durch den Verzicht auf Absaugsysteme wird die Systemkomplexität reduziert, was sowohl die Integration als auch den Betrieb vereinfacht.

Die Auslegung und Konfiguration der Energiekette kann digital erfolgen, wodurch Planungsprozesse beschleunigt werden.

Perspektiven für höhere Geschwindigkeiten und längere Verfahrwege
Aktuelle Entwicklungen zielen darauf ab, die Leistungsgrenzen des Systems weiter zu erweitern, insbesondere in Bezug auf höhere Geschwindigkeiten und längere Verfahrstrecken. Damit soll die Lösung zukünftige Anforderungen in der automatisierten Reinraumfertigung unterstützen.

Mit der Kombination aus reduzierter Partikelemission, integrierter Energie- und Datenführung sowie geringerer Systemkomplexität bietet die Lösung eine Alternative zu bestehenden Versorgungskonzepten in Reinraumumgebungen.

Bearbeitet von Maria Brueva, Induportals-Redakteurin – durch KI angepasst.

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