ZEISS steigert die Effizienz in multidimensionalen Workflows

Forscher profitieren von schnellerer Probenvorbereitung, einer genaueren 3D-Tomographie und einer besseren Datendokumentation.

Bei der Untersuchung von Proben in 3D gelangen Forscher in der Materialforschung und den Lebenswissenschaften nun schneller als bisher in tief unter der Oberfläche liegende Regionen. Erweiterungen im FIB-SEM ZEISS Crossbeam 350/550 und der Software ZEISS Atlas 5 ermöglichen es, multidimensionale Studien schneller durchzuführen und eine bessere Datenqualität zu erzielen. Dies ist besonders geeignet für die additive Fertigung, Elektronik, Batterieforschung, Biomaterialien und Untersuchungen biologischer Proben.

Zugang zu tief liegenden Strukturen und schnelle Bearbeitung von Objekten
Forscher, die in korrelativen Studien Röntgenmikroskopie-Daten nutzen, um im FIB-SEM die gesuchten Stellen anzusteuern, können ihre Arbeitsabläufe weiter verbessern: Die neu eingeführte, patentierte LaserFIB auf ZEISS Crossbeam 350/550 ermöglicht die schnelle, Gallium-freie Bearbeitung von größeren Flächen einer Probe. Außerdem ermöglicht sie den Zugang zu tief verborgenen Strukturen. Der Materialabtrag mit dem Laser wird in einer gesonderten Kammer durchgeführt, um eine Kontamination des FIB-SEMs zu vermeiden. Der Femtosekundenlaser der nächsten Generation sorgt für einen massiven Materialabtrag in kurzer Zeit ohne störende durch den Laser verursachte Wärmeeffekte. Große Volumina können bis zu 50-mal schneller als mit einer Plasma-Ionenquelle abgetragen werden.

Mit der LaserFIB können Strukturen wie Balken für Biegeversuche und zylindrische Prüflinge für nanomechanische Tests hergestellt werden. Des Weiteren können Proben für das Röntgenmikroskop ZEISS Xradia Ultra, große Querschnitte für EBSD-Studien (Electron Backscattered Diffraction) oder ganze TEM-Netzchen präpariert werden.

Bessere Abläufe für 3D-Tomographie und Datendokumentation
ZEISS stellt für ZEISS Atlas 5 Erweiterungen für die Bildgebung und 3D-Tomographie vor sowie ein Toolkit für Analyse und Reporting. Korrelative Arbeitsabläufe werden dadurch verbessert, dass das Wiederfinden von Regionen erleichtert wurde. Z.B. können LaserFIB- oder FIB-SEM-Arbeiten gezielter durchgeführt werden nach erfolgreicher Korrelation mit Röntgenmikroskopiedaten. Anwender können die Vorteile des schnelleren und genaueren Wiederfindens von interessanten Regionen nutzen.

Sobald eine Region lokalisiert ist, übernimmt die „Thin & Fast Tomographie“ die Arbeit. Dies ist ein Verfahren zur Tomogrammaufnahme, Schichtdickenmessung sowie besseren Visualisierung und Datenverarbeitung mit der patentierten True-Z-Technologie von ZEISS. Diese misst nacheinander jede Schichtdicke und rekonstruiert das Tomogramm unter Berücksichtigung der variablen z-Schichtdicke. Dadurch wird die Segmentierung der 3D-Daten erleichtert und die 3D- bzw. 4D-Modellierung genauer.

Dank der Verbesserung an der Toolbox in ZEISS Atlas 5 können Nutzer, die Ergebnisse effektiver als je zuvor analysieren, präsentieren und mit Kollegen teilen. Zusammenhänge in einem multidimensionalen Datensatz werden auf einen Blick sichtbar. Daten mehrerer bildgebender oder analytischer Mikroskopietechniken können gleichzeitig problemlos visualisiert werden. Die Aufbereitung der Daten für Vorträge oder Vorlesungen wird durch das neue Exportmodul Enhanced Browser Based Viewer von ZEISS erleichtert.
Diese Lösungen erweitern das neue Paradigma in der Mikroskopie, das ZEISS Anfang des Jahres auf der M&M 2019, Portland, USA, vorgestellt hat.

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