Autofokus für Mikroskopsystem mit großem Messfeld

Qioptiq, ein Tochterunternehmen von Excelitas Technologies, erweitert sein Mikroskopsystem mag.x system 125 um Komponenten zum automatischen Fokussieren.

Für die optische Inspektion mit großen Flächen- und Zeilensensoren bietet Qioptiq jetzt ein Mikroskopsystem mit integriertem Autofokus an.

Das bewährte modulare System für die optische Inspektion unterstützt moderne hochauflösende Sensoren bis 57 mm Durchmesser und erreicht Auflösungen im Submikrometerbereich. Diese einzigartige optische Leistung verdankt sich Objektiven mit einer hohen numerischen Apertur und einer großen Eintrittspupille. Das neue, optionale integrierte Autofokusmodul ermöglicht im automatisierten industriellen Umfeld die genaue Fokussierung, die bei derart hohen Auflösungen essenziell ist. Die Lösung kommt diversen Anwendungen zugute, darunter die Qualitätskontrolle in der Fertigung von Displays, Leiterplatten, Wafern und Glas. Da das Mikroskopsystem große Flächen- und Zeilensensoren unterstützt, kann auf Stitching in vielen Fällen verzichtet werden, sodass kürzere Taktzeiten möglich sind.

Das Autofokusmodul enthält einen Piezo-Aktuator oder einen Schrittmotor zum Verfahren der z-Achse, die das Prüfobjekt im Bruchteil einer Sekunde bis auf wenige Nanometer genau fokussieren. Die Basiseinheit des Moduls koppelt den Laser des Autofokussensors in den Strahlengang ein. Der Autofokussensor und der Aktuator bilden zusammen ein geschlossenes System, das eine optimale Fokussierung in der Objektebene gewährleistet. Das in Deutschland gefertigte optische System erfüllt höchste Qualitätsansprüche.

Qioptiq plant für Q4 2020 Webinare zur korrekten Anwendung des Mikroskopsystems und des Autofokus. Die Daten und Links werden rechtzeitig auf https://www.excelitas.com/events veröffentlicht.

Das Mikroskopsystem im Qioptiq-Shop: http://www.qioptiq-shop.com/Praezisionsoptik/Mikroskopsysteme/mag-x-system-125/.

www.excelitas.com

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