Massendurchflussregler VEFC von Festo mit Piezotechnologie

Der Massendurchflussregler VEFC von Festo ist einer der kompaktesten am Markt – bei einem Durchfluss von 200 l/min. Dank Digitalisierung bleibt der Durchfluss konstant. Damit muss das dynamische, direkt gesteuerte Piezoventil für inerte Gase nicht von Hand nachgestellt werden. Die Durchflussraten und -einstellungen lassen sich in Millisekunden genau und manipulationssicher anpassen. Anwender sind damit flexibel in ihren Fertigungsprozessen. Mit VEFC kann der Prozess durch zeitgleiche Kenntnis von Durchfluss und Ausgangsdruck kontinuierlich überwacht werden.

Zuverlässiger Schutz von Wafern
Speziell in der Semicon-Industrie muss der Massenstrom von inerten Gasen wie Stickstoff zuverlässig geregelt werden, um Defekte auf Wafern zu vermeiden. Mit dem Fokus auf inerte Gase ohne Medientrennung erweist sich der VEFC bei der Regelung von Stickstoff in Loadports oder EFEMs als günstige Alternative zu anderen Lösungen am Markt.

Sparsames, sicheres und präzises N2-Purging
Mit VEFC im Loadport lassen sich unterschiedliche Durchflüsse in den einzelnen Purge-Steps regeln. Bei Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge und Post-Purge gewährleistet VEFC, dass nur die unbedingt notwendige Stickstoffmenge verbraucht wird. So sparen Anwender Stickstoff und verkürzen die Prozesszeit, bis die trockene Schutzgasatmosphäre erreicht ist.

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